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退火气氛对稀土Eu3+掺杂ZnO薄膜结构和发光性质的影响

许春玉 , 史萌 , 闫珂柱

连铸 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.06.008

采用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(111)衬底上制备稀土Eu3+掺杂的ZnO薄膜材料,分别在纯氧和真空气氛中进行退火处理.XRD图谱中仅观察到尖锐的ZnO(002)衍射峰,表明ZnO∶Eu3+,Li+薄膜具有良好的c轴取向.薄膜的结构参数显示:在纯氧气氛中退火的样品具有较大的晶粒尺寸且应力较小,表...

关键词: 薄膜光学 , 氧化锌 , 退火 , 应力 , 光致发光