王东平
,
谢应涛
,
欧阳世宏
,
朱大龙
,
许鑫
,
谭特
,
方汉铿
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20163104.0380
本文主要介绍了绝缘层在薄膜晶体管中的重要作用,总结了在薄膜晶体管中应用的绝缘层材料种类及其特点,介绍了不同绝缘层的制备工艺,以及各种制备工艺的原理与特点.最后,通过分析近几年有关薄膜晶体管绝缘层的文献,介绍了薄膜晶体管在制备过程中遇到的主要问题及当前的研究热点,并对未来薄膜晶体管中绝缘层的制备工艺和绝缘材料的研究方向进行了展望.
关键词:
薄膜晶体管
,
溶胶凝胶法
,
紫外光退火
,
低温工艺
许鑫
,
董利民
,
巴宏波
,
张志强
,
杨锐
中国有色金属学报(英文版)
doi:10.1016/S1003-6326(16)64416-3
利用 Gleeble?3800热模拟试验机对 beta C 钛合金进行等温压缩试验，研究其在β相区的热变形行为。得到了描述热变形行为的本构方程，获得了真应变为0.7时的加工图。采用光学显微镜、扫描电子显微镜和电子背散射技术对变形显微组织进行表征。结果表明：流变应力随着应变速率加快而增大，随着试验温度的升高而减小。计算得到的表观激活能为167 kJ/mol，接近β钛的自扩散激活能。加工图和显微组织观察表明在温度为900~1000°C和变形速率为0.1~1 s?1的区间存在一个动态再结晶区。加工图显示，当变形速率大于1.7 s?1时，beta C 钛合金发生不稳定变形。Beta C 钛合金在动态再结晶区变形后，经合适的热处理，显微组织可以被优化。
关键词:
钛合金
,
热变形行为
,
动态再结晶
,
加工图
