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退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响

王军 , 谢亚楠

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2011.06.011

采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)法在载玻片上制备了TiO2薄膜.对TiO2干凝胶粉末进行了差热分析(DTA);用分光光度计测试了TiO2薄膜500℃退火前后的透射谱,采用“包络法”计算了TiO2薄膜的折射率、厚度和带隙.结果表明:当波长从700 nm减小到400 nm时,薄膜的折射率从1.465增加到1.485.退火前后TiO2薄膜的厚度分别为595.836 nm和652.454 7 nm.未退火TiO2薄膜的光学带隙为3.85 eV,500℃退火后TiO2薄膜的光学带隙为3.67 eV.与未退火薄膜相比,500℃退火后TiO2薄膜的吸收边出现了“红移”,光响应区范围变大,提高了可见光的利用率.

关键词: TiO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , DTA分析 , 透射谱

锆钛酸钡薄膜的制备及其光学性能研究

黄隆 , 王军 , 谢亚楠

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2010.05.016

采用溶胶凝胶法(Sol-gel)在石英衬底上制备了锆钛酸钡(BZT)薄膜.通过差热分析仪(DTA),确定了BZT薄膜的热处理工艺.用分光光度计测试了BZT薄膜的透射谱,结果表明,在可见光及近红外区域,BZT薄膜具有较高的透过率.采用"包络法"计算了BZT薄膜的光学常数,结果表明,波长从370 nm增加到1100nm时,BZT薄膜的折射率为1.75-1.93,薄膜厚度为268 nm,BZT薄膜的光学带隙为4.2 eV.

关键词: 溶胶凝胶法 , BZT 薄膜 , 光学性质

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