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原子层沉积氧化锌应用于铜铟镓硒太阳能电池缓冲层的研究

廖荣 , 张海燕 , 谢佳亮 , 杨铁铮 , 罗文中 , 胡伟

材料导报

用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30～60 nm之间；测得的ZnO薄膜厚度仅50 nm,符合缓冲层要求；薄膜在可见光区域透射率达90％以上；使用原子层沉积氧化锌...

关键词: 原子层沉积 , 氧化锌薄膜 , 铜铟镓硒太阳能电池 , 缓冲层