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电弧离子镀TiSiN薄膜的结构及摩擦性能

谢婷婷 , 王向红 , 吴百中 , 高斌 , 郎文昌

材料保护

为实现电弧离子镀TiSiN薄膜成分可控,通过改变靶的相对电流在304不锈钢表面沉积TiSiN薄膜,采用厚度仪、能谱仪、扫描电镜、X射线衍射仪及摩擦试验研究了其形貌、结构及摩擦性能.结果表明:TiSiN薄膜中Si以非晶态Si3 N4形式存在,抑制了面心立方结构的TiN晶粒生长,形成纳米晶TiN/非晶Si3N4(nc-TiN/α-Si3N4)纳米复合结构;与TiN薄膜相比,TiSiN薄膜具有更平整的表面,Si含量为4.08%(原子分数)时薄膜表面最光滑平整;TiN薄膜的硬度为2 312 HK左右,掺杂Si元素后,由于细晶强化作用,薄膜的硬度显著提高,Si含量为2.76%(原子分数)时达到最大值,约为3 315 HK;进一步增加Si含量,TiSiN薄膜硬度略有下降;TiSiN薄膜的摩擦系数明显低于TiN薄膜,且随着Si含量增加,摩擦系数逐渐变小,在Si含量为2.76%和4.08%(原子分数)时低至0.4左右.

关键词: TiSiN薄膜 , 电弧离子镀 , 结构 , 硬度 , 摩擦系数

NdFeB磁体表面离子液体电沉积Al层的组织结构及耐蚀性能

汪少杰 , 谢婷婷 , 余超 , 宋振纶

材料保护

NdFeB磁体表面电沉积铝可提高其耐蚀性,但无法在水溶液中进行。为此,在BMIC(1-丁基-3-甲基氯化咪唑)-AlCl3型离子液体中添加甲苯添加剂对NdFeB磁体恒流电沉积Al层。探讨了甲苯含量对电沉积Al层显微形貌及表面粗糙度的影响,研究了最佳甲苯含量离子液体电沉积Al层的耐蚀性。结果表明:在BMIC-AlCl3离子液体中添加20%甲苯,Al沉积层致密、平整,结合良好,甲苯的加入使Al沉积层的晶粒取向产生了变化,细化了晶粒,整平了沉积层;相对于纯离子液体电沉积灿层,添加20%甲苯所得Al沉积层的耐蚀性明显提高。

关键词: 电沉积Al , 离子液体 , NdFeB , 甲苯 , 耐蚀性

TiAlN/SiO2太阳能选择性吸收薄膜的制备与研究

余超 , 冒守栋 , 汪少杰 , 谢婷婷 , 孙可卿 , 宋振纶

材料导报

采用直流磁控溅射法在铜基底上制备了TiAlN/SiO2选择性吸收薄膜.通过调整制备过程中的工艺参数,得到优化后的组合薄膜(铜基底),其吸收率可达0.92、发射率为0.06.在此组合膜系中,TiAlN为吸收层,SiO2为减反层.对基底为铜片的样品在550℃退火2h,其性质保持稳定,表明TiAlN/SiO2组合薄膜在高湿太阳能选择性吸收领域具有一定的应用前景.

关键词: 选择性吸收薄膜 , 吸收率 , 发射率 , 热稳定性

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