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用化学腐蚀制备多孔硅太阳电池减反射膜的研究

谢荣国 , 席珍强 , 马向阳 , 袁俊 , 杨德仁

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.04.010

采用HF/HNO3溶液化学腐蚀,在硅片上制备减反射效果优良的多孔硅太阳电池减反射膜,借助原子力显微镜(AFM)和X光电子谱(XPS)对其表面形貌和成分进行观察,发现该膜与电化学阳极腐蚀得到的多孔硅具有相似性,其主要成分为非化学配比的硅的氧化物SiOx(X<2).采用带积分球的光度分光计,测得形成多孔硅减反射膜后,硅片表面反射率大大下降,,在波长330~800nm范围反射率只有1.5~2.9%.研究指出这种强减反射作用,与多孔硅具有合适的折射率及其多孔特性的光陷阱作用有关.

关键词: 多孔硅 , 太阳电池 , 减反射膜 , 化学腐蚀

多孔硅与聚甲基丙烯酸甲酯复合光致发光特性研究

赵毅 , 杨德仁 , 周成瑶 , 谢荣国 , 阙端麟

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.013

多孔硅与有机材料复合可以改善多孔硅的光致发光特性.用化学腐蚀的方法制备了多孔硅, 通过不同方法实现了多孔硅与聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)的复合.实验结果表明,用旋涂法实现 的 PMMA固化后再与多孔硅复合而制得的样品的结果最好,它与原始的多孔硅样品相比 ,发光峰 发生了蓝移而且发光强度下降很小. PMMA层有限的厚度和 PMMA对多孔硅表面的保护使复合 后发光强度下降很小.制备的多孔 /PMMA复合体系的发光强度几乎不随时间而下降,这可能是 由于 PMMA有效地隔绝多孔硅与空气的接触,保护了多孔硅的表面,不会产生更多的悬挂键.

关键词: 多孔硅 , PMMA , 发光特性

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