材料期刊网

基板温度对SnO2:Sb薄膜结构和性能的影响

谢莲革 , 汪建勋 , 沈鸽 , 翁文剑 , 杜丕一 , 韩高荣

功能材料

以单丁基三氯化锡(MBTC)和SbCl3为反应原料,采用常压化学气相沉积法(APCVD法)在不同的基板温度下制备Sb掺杂SnO2薄膜,用XRD、SEM表征了薄膜的结构和形貌,通过测量薄膜的方块电阻、载流子浓度、霍尔(Hall)系数、紫外可见光谱等性质,详细研究了基板温度对薄膜结构和光电性能的影响.实...

关键词: APCVD法 , Sb掺杂SnO2薄膜 , 基板温度