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溅射沉积ZnO/FC多功能有机-无机杂化膜

张浴晖 , 齐宏进 , 谭金山

高分子材料科学与工程

详述了ZnO/FC杂化膜的制备方法和基本性质.该杂化膜采用射频磁控溅射法通过二次溅射在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基底上沉积而成.所得杂化膜的性质强烈地依赖于制备条件.用AFM、UV、XPS以及静态水接触角表征了杂化膜的形貌、结构和特性.杂化膜的表面起伏不平.静态水接触角大于90°,表现出较好的疏...

关键词: 磁控溅射法 , 杂化材料 , 氟碳 , 氧化锌