孔凡迪
,
陈诺夫
,
陶泉丽
,
贺凯
,
王从杰
,
魏立帅
,
白一鸣
,
陈吉堃
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.02.016
采用传统方法向晶体硅中扩磷不仅耗时长,而且能耗多.使用快速热处理(RTP)方法可以在数十秒时间内达到磷扩散深度和浓度的要求,具有广阔前景.使用磷纸作为扩散源,结合快速热处理法对p型单晶硅片进行磷扩散,用磨角染色法探究扩散结深,获得了最为理想的p-n结扩散温度及时间.通过计算快速热处理条件下磷在硅中的扩散系数以及扩散激活能,分析了与传统扩散方法不同的原因.
关键词:
半导体材料
,
p-n结
,
快速热处理
,
磷扩散
,
扩散系数
刘向阳
,
苏超
,
贺凯
,
何茂刚
工程热物理学报
本文基于流动型量热法建立了一套适用于测量高温高压下比定压热容的实验系统,通过改进传统流动型量热器的管路布置及合理的系统结构设计,使该系统温度、压力适用范围为:293～673 K、0.1～30 MPa.该实验系统温度、压力、比定压热容的测量不确定度分别小于±0.05 K、±13 kPa、±0.98％.为了验证实验系统的测量精度和可靠性,测量了温度为296～313 K、压力为0.1～6 MPa范围内纯水的比定压热容,与文献值的相对偏差小于1％.本文还对温度在355～666K、压力在1～23 MPa范围内的高温高压水的比定压热容进行了测量.
关键词:
比定压热容
,
流动型
,
水
,
高温高压
