贺洁
,
辛煜
,
叶超
,
宁兆元
,
孙钢
功能材料
非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使它可用作超低k多孔介电薄膜的扩散阻挡层.主要改变了SiH4(80%Ar稀释)和CH4气体流量比R{R=[CH4]/([CH4]+[SiH4])},使用微波电子回旋共振化学气相沉积法制备了非化学计量比的非晶碳化硅薄膜(a-Si1-xCx∶H).薄膜沉积过程中放...
关键词:
微波电子回旋共振等离子体
,
非晶碳化硅红外光谱
,
介电常数
杨盛春
,
白友明
,
贺洁
,
何丽仙
硅酸盐通报
以有机插层膨润土、淀粉和丙烯酸为原料,N,N'-亚甲基双丙烯酰胺为交联剂制备了一种新型网络凝胶吸附剂.通过红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对凝胶结构进行了表征.研究了吸附剂对亚甲基蓝的吸附行为,考察了pH值、吸附时间和初始浓度等因素对吸附剂吸附性能的影响,并用不同等温...
关键词:
有机膨润土
,
凝胶
,
亚甲基蓝
,
吸附
,
再生
