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掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征

张化宇 , 檀满林 , 韩杰才 , 朱嘉琦 , 贾泽纯

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00180

分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜, 并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究. XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在, 随着B含量的增加, sp³杂化碳的含量逐渐减小,...

关键词: 四面体非晶碳(ta-C) , XPS , Raman spectrum

掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征

张化宇 , 檀满林 , 韩杰才 , 朱嘉琦 , 贾泽纯

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.01.035

分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp3杂化碳的含量逐渐减小,Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时,其...

关键词: 四面体非晶碳(ta-C) , XPS , Raman光谱

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