曹培江
,
解振宇
,
韩舜
,
柳文军
,
贾芳
,
曾玉祥
,
朱德亮
,
吕有明
材料导报
采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响.研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米棒面密度减小.氧流量的减小使得ZnO纳米棒中的氧空位缺陷含量增加,导致位于约520 nm处的绿光峰增强.
关键词:
ZnO纳米棒阵列
,
化学气相沉积
,
发光性能
邵玉坤
,
韩舜
,
吕有明
,
曹培江
,
柳文军
,
曾玉祥
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
人工晶体学报
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向；在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向.当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向.
关键词:
ZnO
,
MgZnO
,
脉冲激光沉积
,
氧气流量
曹培江
,
赖国霞
,
柳文军
,
贾芳
,
朱德亮
,
马晓翠
,
吕有明
材料导报
使用脉冲激光沉积( PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力.结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85％；PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN.
关键词:
ZnO薄膜
,
脉冲激光沉积
,
附着力
贾芳
,
乔学亮
,
陈建国
,
李世涛
,
邱小林
,
吴长乐
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.04.018
透明导电薄膜作为一种新型的光电材料显示出多种优异的光电性能和具有广泛的应用背景.综述了金属基复合透明导电膜的发展历程与研究现状,重点讨论了电介质/金属/电介质(D/M/D)和透明导电氧化物/金属/透明导电氧化物(TCO/M/TCO) 这两种类型的多层复合膜,分析了其设计原理和存在问题,并指出了控制金属层的厚度和界面扩散是制备高性能光电薄膜的重要方面,最后介绍了金属基复合膜应用,并对其研究进行了展望.
关键词:
薄膜
,
透明导电氧化物
,
电介质
,
金属基复合
,
设计原理
贾芳
,
曹培江
,
曾玉祥
材料导报
采用脉冲激光沉积技术(PLD)在氧气气氛中以高纯Zn为(99.999%)靶材,在单晶硅和石英衬底表面成功生长了ZnO薄膜.通过X射线衍射仪、表明轮廓仪、荧光光谱仪、紫外可见分光光度计对合成薄膜材料的晶体结构、厚度、光学性质等进行了研究,分析了ZnO薄膜的沉积时间对其性能的影响.结果表明,采用PLD法在室温下可以制备出(002)结晶取向和透过率高于75%的ZnO薄膜,但室温下沉积的ZnO薄膜的发射性能较差,沉积时间的延长不能改善薄膜的发光性能.
关键词:
脉冲激光沉积
,
ZnO薄膜
,
沉积时间
