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位移敏感压痕技术评价SiC硬质膜的力学性能

李坤明 , 贾蕗宇 , 包亦望 , 孙立 , 万德田 , 霍艳丽

硅酸盐通报

为了解决SiC硬质膜力学性能难测试的问题,提出以Oliver-Pharr模型为基础的位移敏感压痕技术来评价SiC硬质膜的硬度及弹性模量.为了解其可靠性,将此方法用于普通玻璃和不锈钢作为参考.选用厚度为315±15 μm的化学气相沉积(CVD)SiC硬质膜作为样品,实验以0.5 N/s的载荷速度进行加...

关键词: 位移敏感压痕 , CVD , SiC硬质膜 , 力学性能