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类三明治结构C/Co/C纳米颗粒膜微结构和磁特性的研究

封顺珍 , 孙会元 , 于红云 , 高凤菊 , 贾连芝

功能材料

在室温下,用对靶磁控溅射法制备了系列类三明治结构C/Co/C颗粒膜.C靶和Co靶分别采用射频溅射和直流对靶溅射模式,并且随后进行了原位退火.用振动样品磁强计(VSM)和扫描探针显微镜(SPM)系统研究了C/Co/C颗粒膜的微结构和磁特性与磁性层厚度、非磁性层厚度、退火温度的关系.X射线衍射(XRD)...

关键词: 纳米颗粒膜 , 磁控溅射 , 矫顽力 , 剩磁比 , 原位退火

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