卢立柱
,
赁泓巍
,
谢慧琴
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.05.007
先用电泳法在掺锶锰酸镧(La0 8Sr0 2MnO3-LSM)基片沉积一层钇稳定二氧化锆(yttria-stabilized zirconia-YSZ)薄膜,在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结,以封堵薄膜中孔隙进行.上述联合法综合了电泳沉积薄膜附着力强,烧结时不龟裂的优点和电沉积薄膜的颗粒细,易烧结性的优点,较好地解决了电化学沉积膜难以烧结致密的问题.制备出的薄膜致密性高,厚度为8～14μm。
关键词:
电泳
,
电沉积
,
钇稳定二氧化锆
,
薄膜
