何少伟
,
黄鹰
,
戴君
,
赖建军
,
王兴治
,
易新建
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2007.06.010
用离子束溅射和后退火工艺制备了一种适用于微测辐射热探测器热敏材料的新型纳米结构二氧化钒(VO2)薄膜材料,薄膜具有平均粒度8 nm,在半导体相区具有电阻温度系数(TCR)为-7%/K,性能高于传统的VO2材料(平均粒度为1-2μm,在半导体相区具有TCR约为-2%/K).基于纳米结构的VO2薄膜材料的器件比基于传统的VO2薄膜材料具有更高的性能,而两者的噪声基本相当.
关键词:
无机非金属材料
,
纳米二氧化钒薄膜
,
非致冷红外探测器
,
电阻温度系数(TCR)
