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改进溶胶-凝胶法制备PZT5O/5O铁电薄膜

王根水 , 于剑 , 赖珍荃 , 孟祥建 , 孙兰 , 郭少令 , 褚君浩 , 李刚 , 路庆华

功能材料

采用改进的溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT50/50铁电薄膜-用X射线衍射表征了薄膜的物相,用原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观形貌,用RT-66A测量了薄膜的铁电特性,获得了具有优良的铁电性能的晶粒尺寸为100nm的PZT50/50铁电薄膜,在20V电压下,P,=31....

关键词: 溶胶-凝胶法 , 前驱体 , PZT50/50 , 铁电薄膜

LaNiO3溅射薄膜的光学和电学特性的研究

赵强 , 赖珍荃 , 黄志明 , 陈静 , 褚君浩

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.01.016

采用 LaNiO3陶瓷靶和射频磁控溅射技术在 350℃的 K9玻璃衬底上制备出了具有较好( 100) 择优取向的 LaNiO3薄膜.通过对不同厚度薄膜的光学、电学以及薄膜结构等物理特性的测试分析, 发现薄膜厚度小于 100nm时为非晶结构,厚度大于 150nm后出现了具有( 100)择优取向的 La...

关键词: LaNiO3薄膜 , 射频溅射 , 光学特性 , 表面电阻

磁控溅射制备TiN薄膜影响因素的研究

胡敏 , 刘莹 , 赖珍荃 , 刘倩

功能材料

采用磁控溅射法在硅基片表面沉积TiN薄膜,研究了溅射气压、氮气流量、氩气流量、溅射电流等溅射参数对TiN薄膜导电性能的影响.实验参数采用正交设计法选取,经模糊分析得出,所考察的因素对薄膜光催化性能的影响次序由大到小依次为溅射电流、气体流量、溅射气压.进一步研究影响最大的溅射电流对薄膜结构与电学性能的...

关键词: 磁控溅射 , TiN薄膜 , 正交试验 , 溅射电流

金属 /介质型纳米复合变色膜

赖珍荃 , 周斌 , 王珏 , 张勤远

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.007

变色膜是一种随观察角度不同而改变颜色的多层光学薄膜，在防伪领域有着重要的应用。 本工作给出了金属 /介质型变色膜的膜系设计，包括各膜层的最佳厚度或最小厚度要求；针对现行 制备工艺存在的生产周期长、成本高问题，提出了一种制备金属 /介质型变色膜的新工艺—纳米复 合工艺（ NCT），并用 NCT制...

关键词: 变色膜 , 防伪 , 溅射 , 溶胶－凝胶 , 纳米复合

磁控溅射TiN薄膜的工艺及电学性能研究

胡敏 , 刘莹 , 赖珍荃 , 刘倩 , 朱秀榕

功能材料

采用反应直流磁控溅射法,在Si基底上制备TiN薄膜.研究了溅射沉积过程中溅射气压和Ar/N2气体流量比对TiN薄膜结构及其电学性能的影响,并对试验结果进行了分析.研究发现,在Ar/N2气体流量比为15:1时,TiN薄膜的表面均方根粗糙度和电阻率都为最小.当溅射气压增大时,薄膜厚度减小.当溅射气压为0...

关键词: TiN薄膜 , 磁控溅射 , 氩气/氮气流量比 , 溅射气压 , 电学性能

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