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多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性

于威 , 郭亚平 , 杨彦斌 , 郭少刚 , 赵一 , 傅广生

功能材料

采用铝诱导非晶硅薄膜晶化技术制备了多晶硅薄膜,并研究了多晶硅的成核和生长特性。非晶硅薄膜采用等离子体增强化学气相沉积法制备,其表面沉积铝薄膜后经不同温度的氮氛围退火处理。结果表明,退火后的硅薄膜层与铝层发生置换,所生长的多晶硅颗粒的平均尺寸约为150nm。X射线衍射分析结果揭示,薄膜的晶向显著依赖于退火温度,较低温度下,铝诱导晶化速率较慢,薄膜的优化晶向与非晶硅薄膜中团簇的初始原子排列趋势紧密相关。而较高温度下,铝诱导晶化促使多晶硅(111)择优成核及随后的固相生长。

关键词: 铝诱导晶化法 , 多晶硅薄膜 , 低温退火 , 定向生长

乙醇影响下汽油污染物在不同形态土壤有机质上的吸附

赵一 , 蓝芙宁 , 覃星铭 , 李衍青 , 洪涛 , 程瑞瑞

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2017.03.2016070504

为客观评价乙醇对不同形态土壤有机质吸附汽油污染物的影响,本文通过序批实验研究了乙醇影响下苯和甲苯在腐殖酸和黑炭上的吸附,结果表明,腐殖酸以“软碳”为主,苯和甲苯在其上的吸附表现为线性分配,而黑炭以“硬碳”为主,苯和甲苯在其上的吸附为非线性吸附;苯和甲苯在黑炭上的吸附能力要比在腐殖酸上的吸附能力高一至两个数量级.乙醇具有共溶剂效应,随着溶液中乙醇体积分数(fc)的增加,苯和甲苯的溶解度呈线性增加,在有机质上的吸附能力则逐渐减弱.此外,通过共溶剂模型以及对溶液浓度标准化(Ce/Sw)后的数据进行分析,推断乙醇还可能使有机质结构发生了一定程度的溶胀.

关键词: 乙醇 , 汽油 , 腐殖酸 , 黑炭 , 共溶剂效应

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