赵丽特
,
范东华
,
朱慧群
,
罗坚义
,
王忆
,
龙拥兵
,
文铨
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.12.009
薄膜的表面形貌与生长机理相关，因此可以通过研究薄膜表面形貌的演变来外推其生长机理。利用热蒸发法在硅片上制备了纳米多孔二氧化硅薄膜，利用扫描电镜(SEM)和 X 射线能谱(EDS)对不同样品的形貌、成分进行了表征。研究发现所制备的薄膜是由线状结构或直立的片状结构所构成的多孔结构。利用马拉高尼效应和润湿理论，对薄膜的气-液-固生长机理和氧化物辅助生长机理进行了探讨。
关键词:
薄膜
,
多孔氧化硅
,
纳米线
,
纳米片
,
生长机理
赵丽特
,
叶勤
,
丁瑞钦
材料导报
采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.
关键词:
TiO2
,
薄膜
,
磁控溅射
,
拉曼光谱
,
晶体结构
,
生长方式
