朱强
,
蒋庄德
,
赵则祥
,
王海容
,
杨树明
稀有金属材料与工程
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得...
关键词:
悬臂梁法
,
微构件
,
弹性模量
,
MEMS
,
纳米压入仪
赵则祥
,
朱强
,
杨树明
,
蒋庄德
稀有金属材料与工程
阐述了指数曲线拟合方法和多项式拟合方法.分别用上述方法对52条卸载过程载荷-位移曲线进行了拟合,其中多项式的最高次数分别选为2～6种.在NANOINDENTERⅡ上对13个试样进行了压入实验,试样包括4个块体材料试样和9个膜/基材料试样,最大压入深度分为2组,即:一组为200 nm和500 nm,另...
关键词:
纳米压入
,
曲线拟合
,
力学性能
,
MEMS
赵则祥
,
蒋庄德
,
王海容
稀有金属材料与工程
在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量...
关键词:
纳米压入
,
MEMS
,
力学性能
,
不确定度
