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化学气相沉积制备纳米结构碳化钨薄膜

郑华均 , 黄建国 , 马淳安 , 赵峰鸣 , 朱英红

功能材料

采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜.采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成.通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气体的流量比(碳钨比)为20、基底温度为800℃的条件下得到的碳化钨薄膜是由直径为20~35nm的圆球状纳米晶构成.通过分析影响薄膜的晶体结构、化学组成的因素后,认为要得到具有纳米晶结构的碳化钨薄膜,主要应控制前驱体气体中的碳钨比以及基底温度.

关键词: 碳化钨 , 纳米结构薄膜 , 等离子增强化学气相沉积

纳米碳管空气电极在氧还原反应中的电催化性能

黄辉 , 张文魁 , 赵峰鸣 , 马淳安 , 甘永平 , 葛忠华

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2002.08.012

以活性炭、纳米碳管为催化层电极材料制备了空气电极,测定了稳态极化曲线和交流阻抗. 研究发现,催化层中纳米碳管的含量对氧的电还原反应有显著影响,m(活性炭)∶m(纳米碳管)=50∶50的空气电极催化活性最高,在过电位ηc为400~600 mV时,输出电流可达0.3~0.5 A/cm2. EIS测试结果表明,不同质量比的活性炭/纳米碳管空气电极阻抗谱均由2个半圆弧组成,高频区半圆对应欧姆极化阻抗,低频区半圆对应氧还原反应的法拉弟阻抗,催化层中加入纳米碳管明显减小了电极的欧姆阻抗和法拉第阻抗,提高了氧还原反应的催化活性,电极过程受氧在薄液膜中的扩散控制,单纯纳米碳管形成的催化层多孔结构较容易被电解液渗透,界面还存在Warburg扩散阻抗,相应的电催化活性较低. 提出了空气电极的等效电路,并对拟合的动力学参数进行了解释.

关键词: 纳米碳管 , 空气电极 , 氧还原反应 , 电催化 , 电化学阻抗谱

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