赵松楠
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吕海兵
,
晏良宏
,
袁晓东
,
郑万国
材料导报
为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式...
关键词:
激光损伤阈值
,
湿化学蚀刻
,
石英基片
,
表面形貌
王姣
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唐先忠
,
赵松楠
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李元勋
材料导报
光敏苯并环丁烯(BCB)以其优良的电特性、极低的吸水率以及能够大大简化器件制造工艺等优点成为微电子领域特别是用于多芯片组件(MCM)最理想的绝缘介质材料.介绍了目前光敏BCB的研究现状及应用情况,分析了两种常用的光敏BCB的结构和合成方法,并提出了一种新型光敏BCB的设计思路.
关键词:
光敏
,
BCB
,
合成
,
分子设计
