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栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

付盛荣 , 熊斌 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012

主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.

关键词: 陀螺 , 电容式 , 检测 , 分辨率

振动式微机械陀螺的电学模拟

黄小振 , 熊斌 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.014

根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟.利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性.利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计.

关键词: 微机械陀螺 , 等效电学模型 , 模拟

一种超薄硅薄膜的制作方法

李忻 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.04.013

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的.提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜.由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础.

关键词: 硅薄膜 , 内应力 , 形变 , 电容式微差压传感器

基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺

池积光 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.019

研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块.最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器.

关键词: 塑性变形 , 自对准 , 梳齿驱动 , 非平面驱动

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