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La_(1-x)Sr_xMnO_3电极的制备及其对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜介电性能的影响

辛立强 , 付兴华 , 于玲君 , 崔永涛

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备了La_(1-x)Sr_xMnO_3电极材料.采用XRD、SEM对材料的晶体结构、表面形貌、薄膜厚度进行了表征,研究了退火温度对薄膜结构及电阻率的影响,以及介电常数与介电损耗随频率变化的关系.结果表明:在x=0.5,退火温度为800 ℃时,La_(0.5)Sr_(0.5)MnO_3薄膜的电阻率为1.2×10~(-2) Ω·cm.La_(0.5)Sr_(0.5)MnO_3薄膜与Ba_(1-x)Sr_xTiO_3匹配性较好,实现了BST薄膜的外延生长,其介电性能比在Pt上制备的Ba_(1-x)Sr_xTiO_3得到了明显的改善.

关键词: 溶胶-凝胶技术 , La_(1-x)Sr_xMnO_3电极 , Ba_(1-x)Sr_xTiO_3 , 外延生长 , 介电性能

铁电薄膜过渡层材料的研究进展

于玲君 , 付兴华 , 辛立强 , 崔永涛

材料导报

具有介电、铁电、压电等特性的铁电薄膜在动态随机存储器、移相器等功能器件上拥有广泛的应用前景,但其疲劳现象已成为应用的严重障碍,在衬底与铁电薄膜之间添加氧化物过渡层可以改善这种现象.综述了普通氧化物、钙钛矿型氧化物、超导氧化物等作为过渡层材料对铁电薄膜结构与性能的影响.

关键词: 铁电薄膜 , 疲劳 , 过渡层材料 , 介电性能

底电极与组分对Ba1-xSrxTiO3薄膜结构与介电性能影响的研究

付兴华 , 于玲君 , 辛立强

硅酸盐通报

以Pt与La0.5Sr0.5CoO3为电极,采用溶胶-凝胶法分别沉积Sr/Ba比不同的Ba1-xSrxTiO3薄膜,研究结果表明:沉积在两种电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜,随着Sr/Ba比的增加,Ba1-xSrxTiO3薄膜的介电常数呈先增大后减小的趋势,当Sr含量为50%即为Ba0.5Sr0.5TiO3且频率为1 kHz时,薄膜具有最大的介电常数,分别是80,95和最小的介质损耗,分别是0.15,0.1.介电常数随着频率的升高呈下降趋势,介质损耗则成上升趋势.沉积La0.5Sr0.5CoO3电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜比Pt电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜具有更高的介电常数和低的介质损耗.

关键词: 溶胶-凝胶法 , Ba1-xSrxTiO3薄膜 , 电极材料 , 介电性能

BaxSr1-xTiO3铁电薄膜电极材料的研究进展

辛立强 , 付兴华 , 陶文宏

硅酸盐通报

BST铁电薄膜具有优异的介电性能,电极材料特别是底电极材料,影响并决定BST薄膜的电学及介电行为,选择合适的电极材料对BST薄膜的性能至关重要,本文综述了电极材料对BST薄膜结构和介电性能的影响以及此方面的最新研究成果.

关键词: BST薄膜 , 电极材料 , 钙钛矿氧化物 , 介电性能 , 漏电流

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