童六牛
,
高成
,
何贤美
,
李婷婷
,
邓朋
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2015.04.005
采用射频(RF)磁控溅射方法,在2种基底温度(TS =25,310℃)的基片上制备了结构为Si(111)/NdFeCo(610 nm)/Cr(10 nm)的薄膜样品,溅射氩气压保持在pAr=0.1 Pa.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、振动样品磁强计(VSM)、原子力显微...
关键词:
NdFeCo薄膜
,
垂直磁各向异性
,
磁畴
,
快速退火热处理
