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RHEED实时监控下MBE生长不同In组分的InGaAs薄膜

罗子江 , 周勋 , 贺业全 , 何浩 , 郭祥 , 张毕禅 , 邓朝勇 , 丁召

功能材料

利用分子束外延技术,通过RHEED图像演变实时监控薄膜生长状况,采用RHEED强度振荡测量薄膜生长速率,固定Ga源温度、改变In源温度在GaAs(001)基片上外延生长了不同In组分(39%、29%、19%)的InGaAs薄膜。比较RHEED强度振荡以及RHEED衍射图像,发现随着In组分的增加In...

关键词: MBE , RHEED , STM , InGaAs薄膜

InGaAs/GaAs异质薄膜的MBE生长研究

罗子江 , 周勋 , 杨再荣 , 贺业全 , 何浩 , 邓朝勇 , 丁召

功能材料

利用分子束外延技术,在GaAs(001)基片上外延InGaAs/GaAs异质薄膜,通过RHEED图像演变实时监控薄膜生长状况,采用RHEED强度振荡测量薄膜生长速率,确定薄膜中In/Ga的组分比,并提出控制InGaAs薄膜中In/Ga组分比的生长方法.根据RHEED图像,指出获得的InGaAs薄膜处...

关键词: MBE , RHEED , STM , InGaAs异质薄膜

在RHEED实时监控下GaAs晶体生长研究

罗子江 , 周勋 , 杨再荣 , 贺业全 , 何浩 , 邓朝勇 , 丁召

功能材料

采用分子束外延技术,利用RHEED图像可研究GaAs表面重构方式和生长机制.报道了一种新型的分子束外延方法,在RHEED实时监控下,利用GaAs(001)基片同质外延GaAs.通过改变生长和退火的时间与温度(420、500、580℃),结合RHEED图像演变与GaAs表面平整度(粗糙化)的联系,得到...

关键词: MBE , RHEED图像 , 粗糙化 , EDS , GaAs表面重构

两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术

周章渝 , 杨发顺 , 杨健 , 王松 , 邓朝勇 , 傅兴华

材料导报

超导薄膜实现布图布线工艺是制备超导电子元件的必要步骤.报道了两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术:一种是先利用双氧水( H2O2)刻蚀前驱体硼薄膜,然后将刻蚀的样品放入钽坩埚中在镁蒸气下高温退火,实现了对超导薄膜二硼化镁(MgB2)布图布线的刻蚀;另一种是选用氢氟酸(HF)和硝酸(HNO3)的...

关键词: MgB2超导薄膜 , 布图布线 , 湿法刻蚀

衬底温度对Ta2O5薄膜结构和光学性质的影响

马亚林 , 石健 , 李绪诚 , 杨利忠 , 邓朝勇

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.23.010

采用直流磁控溅射法在不同衬底温度下(27、150、300、450和750℃)制备 Ta2 O5薄膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见光分光光度计对薄膜的结构、表面形貌和光学性质进行分析研究。实验结果表明,当衬底温度为450℃时,薄膜开始结晶。低于450℃,薄膜为无定形态,光学透过...

关键词: 磁控溅射 , Ta2O5 , 光学薄膜 , 结晶 , 透过率

MgB2超导材料掺杂研究进展

付尧 , 张松 , 吴燕平 , 邓朝勇

材料导报

元素掺杂可以提升MgB2在磁场中的性能,解决其超导性能在磁场环境下的退化问题,对MgB2超导材料的应用具有重大意义.介绍了元素掺杂MgB2的目的及作用机理,从薄膜、块材、线带材3个方面具体综述了纳米SiC和有机物掺杂MgB2超导体的研究进展,系统总结了烧结温度及有机物掺杂量对MgB2超导体的性能影响...

关键词: MgB2 , 临界电流密度 , 上临界场 , SiC掺杂 , 有机物掺杂

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