黄少艳
,
邢建平
,
李长庆
,
徐勇
,
裘南畹
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.024
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现.最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al2O3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件.通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器.
关键词:
ZnO薄膜
,
粉末溅射
,
双点焊
邢建平
,
蔡成森
,
李娟
,
孟令国
,
李秀宇
,
高红
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.017
为改善气敏元件的性能 ,提高稳定性 ,采用粉末反溅研制了 SnO2/CeO2乙醇敏感材料 ,结果 表明:灵敏度在 CeO2掺杂范围 4%- 32%、膜厚 100- 180nm时较佳 ,特征时间τ与膜厚 l遵循 τ∝ l2规律 ,研制出乙醇灵敏度 20- 80、特征时间 < 15s的微型平面旁热式 SnO2气敏元件 ;元件 灵敏度测试存在一个 4.5- 10.5V相对稳定的测试电压区间 ,且在湿度影响下显著降低.
关键词:
反溅
,
薄膜
,
气敏元件
