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马志斌 , 邬钦崇 , 汪建华 , 王传新 , 黎向锋
无机材料学报
采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积．镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显地增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力．用扫描电子显微镜和激光Ｒａｍａｎ谱研究了薄膜的形貌和质量；采用高温氢等离子体退火工艺在基片表面形成的铜镍碳氢共晶体上抑制了无定形碳和石墨的形成，有利于金刚石薄膜的生长．金刚石薄膜的均匀性受到共晶体的均匀性的影响．
关键词: 金刚石薄膜 , chemical vapor deposition , intermediate layer
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.05.031
采用镍过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积. 镍过渡层与铜基底间在高温退火条件下形成的铜镍共晶体明显地增强了金刚石薄膜与铜基片之间的结合力. 用扫描电子显微镜和激光Raman谱研究了薄膜的形貌和质量：采用高温氢等离子体退火工艺在基片表面形成的铜镍碳氢共晶体上抑制了无定形碳和石墨的形成，有利于金刚石薄膜?的生长. 金刚石薄膜的均匀性受到共晶体的均匀性的影响.
关键词: 金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 过渡层
马志斌 , 邬钦崇 , 汪建华
材料导报
评述了金刚石薄膜的化学气相沉积方法,介绍了金刚石薄膜在工业中的应用前景,并分析了大规模应用所面临的技术困难.
关键词: 金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 工业应用
