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氮化镓薄膜生长工艺研究的最新进展

赵谢群 , 张燕红 , 邱向东 , 孙晋伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.02.015

综述了高质量GaN薄膜材料生长工艺的最新进展,着重阐明金属有机物汽相沉积工艺以及以活性氮为前体的分子束外延工艺的应用.

关键词: GaN , 薄膜 , 外延生长 , 活化氮源

超细 (纳米级) 颗粒材料的制备 (二)

张燕红 , 邱向东 , 赵谢群 , 胡初潜

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.015

关键词: