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溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.03.014

采用改进的溶胶-凝胶法,以乙二醇为溶剂,硝酸锆为锆源,制备了纳米Pb(Zr0.52Ti0.48)O3粉体.通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理.通过IR,TG-DTA,XRD,SEM,TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征.实验证明:在650℃热处理2h,获得较完整钙钛矿型P...

关键词: 溶胶-凝胶 , 乙二醇 , 锆钛酸铅 , 纳米粉体

溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

邱成军 , 刘红梅 , 张辉军 , 赵全亮 , 孟丽娜 , 曹茂盛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2007.08.006

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关...

关键词: PZT薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 各向异性刻蚀 , 微驱动器 , MEMS

磁控溅射制备掺银TiO2薄膜的光催化特性研究

邱成军 , 曹茂盛 , 张辉军 , 刘红梅 , 田风军 , 刘鑫

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2005.10.009

利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银对TiO2薄膜增强光催化作用的工作机理,研究结果表明掺银...

关键词: 薄膜 , 锐钛矿相 , 射频磁控溅射 , 光催化活性

以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制

邱成军 , 曲伟 , 刘红梅 , 赵全亮 , 卜丹 , 曹茂盛

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.009

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制...

关键词: PZT薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 各向异性刻蚀 , 微泵 , MEMS

纳米薄膜材料的研究进展

邱成军 , 曹茂盛 , 朱静 , 杨慧静

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.04.027

纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景.本文综述了近几年来国内外对纳米薄膜材料研究的最新进展,包括对该类材料的制备方法、微结构、电、磁、光特性以及力学性能的最新研究成果.

关键词: 纳米薄膜 , 薄膜制备 , 微结构 , 性能

结构型吸波材料的动载断裂韧性

曹茂盛 , 张铁夫 , 邱成军 , 朱静

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.04.005

用改进的Hopkinson测试系统和适合于动载断裂的夹具,测量了结构型吸波复合材料的断裂韧性给出了系统参数(包括载荷-时间特性、应力强度因子响应特性和起裂时间特性)的确定方法.在纯树脂、普通玻璃钢和结构型吸波复合材料的性能测试中发现,纯树脂、普通玻璃钢和结构型吸波复合材料等结构型吸波材料的起裂点的选...

关键词: 复合材料 , 吸波村料 , 冲击 , SHPB