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殷景志 , 龙北红 , 邵丽梅 , 阮圣平 , 胡立发 , 刘永刚 , 宣丽
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.03.009
提出了一种生长p-Si薄膜的ECR-PECVD等离子体系统.系统采用永磁铁和线圈相结合,改善反应室磁场的均匀性;微波窗口设计成多层结构,避免窗口污染;衬底托架移动和旋转利于改善生长膜的均匀性.
关键词: 电子回旋共振 , 微波等离子体 , p-Si薄膜
