邵起越
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袁涛
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李爱东
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董岩
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方峰
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蒋建清
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刘治国
功能材料
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪.以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜.这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相...
关键词:
无水硝酸盐
,
化学气相沉积(CVD)
,
高介电常数(high-k)栅介质
韩学林
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董岩
,
沈超
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陈蓉
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邵起越
,
蒋建清
功能材料
用化学共沉淀法制备出BaAl12O19:Mn2+绿色荧光粉,并研究了沉淀工艺参数对该荧光粉性能的影响.结果表明,通过严格控制pH值等共沉淀条件,可以获得Al3+、Ba2+、Mg2+、Mn2+离子的完全沉淀,并使其中的Al3+以结晶碳酸铝铵形式沉淀,沉淀产物经1200℃×1h煅烧后得到松软超细粉体;调...
关键词:
BaAl12O19:Mn3+
,
化学共沉淀法
,
荧光粉
,
PDP
