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邸利锋 , 丁爱丽 , 何夕云 , 罗维根
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.019
研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.
关键词: 弛豫铁电体 , 溶胶-凝胶 , 热解 , 退火
