王星星
,
雷卫宁
,
刘维桥
,
邹旻
材料保护
采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(镀层)的一种新方法.针对超临界条件下压力和温度参数对电镀体系乳化液电阻特性的影响,建立了其优化数学模型,利用MATLAB软件最优化工具箱和anova12方差分析函数进行数值求解和影响程度分析,同时采用非离子表面活性剂进行超临界CO2...
关键词:
电镀镍
,
超临界CO2
,
溶液特性
,
数值分析
,
压力
,
温度
,
电阻
王星星
,
雷卫宁
,
刘维桥
,
姜博
,
邹旻
稀有金属材料与工程
有效地改善沉积层厚度均匀性是电化学沉积技术应用的关键,简述了微电铸原理,综述了国内外微器件沉积层均匀性的最新研究进展,包括优化工艺参数、脉冲电流与换向脉冲电流、改善传质条件、辅助阴极、阴极屏蔽、阳极特性及数值模拟仿真技术改善沉积层均匀性的研究报道,详细介绍了超临界CO2电化学沉积新方法及其优点,并展...
关键词:
微器件
,
电铸
,
沉积层
,
均匀性
,
超临界CO2
