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测量深亚微米薄膜内微小残余应力的测试圆环结构

乔大勇 , 郑晓沛

功能材料

为能灵敏地测出深亚微米薄膜中的微小残余应力,对现有的圆环临界屈曲结构做进一步改进,并利用改进后的圆环结构测量3种不同厚度的深亚微米尺度薄膜残余应力。通过在线监测系统对释放过程进行观察并测量其临界腐蚀深度,然后借助ANSYS软件的特征值屈曲法计算出残余应力大小。改进后的测试圆环结构最终成功地测量出3种...

关键词: 微小残余应力 , 深亚微米尺度薄膜 , 灵敏度