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玻璃基Pt/Pb(Zr _0.4 Ti _0.6 )O₃/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/ Pb(Zr _0.4 Ti _0.6 )O₃(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行...

关键词: Pt/PZT/ITO , sol-gel method , electric property

玻璃基Pt/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb((Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳...

关键词: Pt/PZT/ITO , 溶胶-凝胶法 , 电学性能

沉积位置对脉冲激光沉积纳米Si晶薄膜微观结构的影响

周阳 , 郑红芳 , 王英龙 , 刘保亭

功能材料

在4.0×10-4Pa的真空条件下,采用脉冲激光烧蚀技术在单晶Si衬底和石英衬底上制备了非晶纳米Si薄膜.在N2气氛下,经过900℃热退火得到纳米Si晶薄膜.采用表面台阶测试仪、扫描电子显微镜、拉曼光谱仪等检测手段对样品不同位置的微观结构进行了表征.测量结果表明制备的纳米Si晶薄膜厚度及其晶粒尺寸分...

关键词: 脉冲激光烧蚀 , 纳米Si薄膜 , 晶粒尺寸 , 羽辉动力学

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