郑超凡
,
沈鸿烈
,
蒲天
,
蒋晔
,
李玉芳
,
唐群涛
,
吴斯泰
,
陈洁仪
,
金磊
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.01.042
采用一步银铜双原子金属辅助化学腐蚀(MACE)法,于室温下在多晶硅表面制备纳米陷光结构,研究了腐蚀时间及银铜摩尔比对多晶硅表面反射率和形貌的影响.用分光光度计测量了多晶硅表面的反射率,用扫描电镜观察了表面形貌.发现银铜双原子MACE法所形成的结构比银单原子或铜单原子MACE 法所形成的结构更加平整且...
关键词:
黑硅
,
减反射
,
纳米结构
,
金属辅助化学法
,
银铜双原子
