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氧等离子体对金刚石膜的刻蚀研究

吕宪义 , 金曾孙 , 郝世强 , 彭鸿雁 , 曹庆忠

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2003.03.005

用微波放电法产生氧等离子体,通过改变系统中氧的浓度和金刚石膜的温度研究了氧等离子体对CVD多晶金刚石膜刻蚀的影响.实验结果表明:随着氧浓度的增加和金刚石膜温度的提高,刻蚀作用加剧;而在较低的氧浓度和金刚石膜温度条件下金刚石膜的晶界处首先被刻蚀,说明金刚石膜的境界处含有较多的非金刚石碳相.并且从等离子体对(100)和(111)面的刻蚀现象可知(100)面的生长是二维生长,(111)面的生长是岛状生长.

关键词: 氧等离子体 , 金刚石膜 , 刻蚀 , 结构特性

过渡金属Fe、Ni和Co对金刚石膜表面腐蚀作用的研究

吕宪义 , 金曾孙 , 郝世强 , 彭鸿雁 , 刘建设

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2004.02.012

采用电子增强CVD和直流热阴极PCVD方法制备出金刚石膜,在真空条件下用高温热灯丝加热方法研究了过渡金属Fe、Ni和Co对金刚石膜表面的腐蚀作用,并对腐蚀后的金刚石膜表面和金属表面进行了XRD和Raman光谱测量.结果表明:过渡金属Fe、Ni和Co对金刚石表面具有明显的腐蚀作用,其中Fe的腐蚀作用最好.经过过渡金属腐蚀后金刚石表面和金属表面形成了非金刚石碳相而没有发现过渡金属碳化物.

关键词: 过渡金属 , 金刚石膜 , 腐蚀

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