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郝会颖 , 李伟民 , 曾湘波 , 孔光临 , 廖显伯
功能材料
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）法,成功制备出一系列从非晶到微晶过渡区域的硅薄膜。研究了气体压强对样品的微结构、光电特性、输运性质以及沉积速率的调控作用。结果表明,增大沉积气压可以提高材料的光敏性及沉积速率,但材料的结构有序度以及输运特性变差。
关键词: 相变域硅薄膜 , 微结构 , 光电特性 , 输运特性
