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掺铜SnJO2薄膜的光学气敏特性

冯金垣 , 李伟杰 , 郝延华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.02.004

采用磁控溅射的方法,在玻璃基片上制作出SnO2-Cu-SnO2-Cu-SnO2的5层式多层复合薄膜.并且在常温下使用分光光度计检测出,当它接触到酒精和丙酮气氛的情况下,其反射率在可见光范围的某些波段有变化,气敏特性与纯SnO:薄膜的相似,同时具有更佳的反应效果.

关键词: 磁控溅射 , SnO2 , 反射率