杨曜源
,
李卫
,
张力强
,
蔡以超
,
王向阳
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肖红涛
,
田鸿昌
,
东艳萍
,
方珍意
,
郝永亮
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.020
本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素.结果表明:选用固体硫作原料,用化学气相沉积方法,可以沉积出透明ZnS多晶体;它的透过性能极其优异,在6.2μm处无吸收峰,在中、长波红外透过率可达70%以上.
关键词:
化学气相沉积法
,
硫化锌
,
红外材料
杨曜源
,
蔡以超
,
东艳苹
,
张力强
,
王向阳
,
肖红涛
,
田鸿昌
,
李卫
,
郝永亮
,
方珍意
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.026
本文报道了CVD法制备ZnS晶体的制备工艺,系统地研究了气体流量、工作气压、基板温度等主要工艺参数对沉积速率的影响规律.实验表明,随着H2S(s)/Zn摩尔流量比的增加,沉积速率逐渐增大;基板温度升高,沉积速率加快;工作气压增大,沉积速率变化不大.在本实验研究的条件下认为,采用合适的H2S(s)/Zn摩尔流量比和沉积温度,在较低的工作气压下生长晶体,能保证较稳定的沉积速率,生长出高质量的晶体.
关键词:
红外材料
,
ZnS
,
CVD
,
沉积速率
