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直流磁控溅射BaTiO3系PTCR元件电极及其性能对比的研究

周东祥 , 赵加强 , 龚树萍 , 郝永德

功能材料

目前在钛酸钡系PTC热敏电阻器的生产过程中,广泛采用烧渗铝、化学镀镍等电极制备方法,但所制备的电极湿热老化及附着力不尽人意.本文采用直流磁控溅射法制备了的PTCR元件的底电极,实现了镍与PTCR瓷片间的欧姆接触,并发现利用溅射法工艺制备了Ni电极的元件电极附着力(垂直拉力＞3kg,剪切拉力＞0.5k...

关键词: 溅射 , PTCR元件 , 电极 , 电学性能