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模板法制备半导体纳米阵列及其形态调控?

郦宇琦 , 刘彦平 , 钟文武

合成材料老化与应用

以聚苯乙烯单层胶体晶体为模板,分别采用溶液浸渍法和磁控溅射法制备TiO2和ZnO二维纳米阵列。研究了前驱体浓度、溅射时间和溅射功率对纳米阵列形态的影响,研究发现随着前驱体浓度的降低, TiO2纳米阵列的形貌由孔状变为环状。对于特定的ZnO孔状阵列,随着溅射功率的增大和溅射时间的延长,阵列的表面形貌也出现了明显的变化。结果表明,利用模板法制备的纳米阵列的形态可通过实验参数来进行调控。

关键词: 胶体晶体模板 , 纳米阵列 , 氧化锌 , 二氧化钛

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