郭华伟
,
张树人
,
周晓华
,
李波
,
孙丽娟
,
王晓东
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2007.05.017
采用水淬法制备应用于LTCC基板材料的CaO-B2O3-SiO2系微晶玻璃.通过DTA和XRD综合分析,在充分析晶情况下此玻璃的主晶相是硅灰石(CaSiO3)、硼钙石(CaB2O4)以及石英(a-SiO2),并确定了3种晶相的析晶温度.在此基础上探讨了氧化硅和氧化钙含量对硅灰石晶相生成以及该系统微晶玻璃烧结性能的影响.得到了规律性的结果:增加钙含量能够有效诱使硅灰石析出,同时能够抑制石英相,降低烧结温度,使材料适用于基板材料的要求.
关键词:
钙硼硅
,
微晶玻璃
,
水淬法
,
硅灰石
王晓东
,
张树人
,
周晓华
,
郭华伟
,
唐斌
材料导报
半导体技术的持续进步使片间信号传递效率成为影响整机性能的瓶颈.多芯片组件等高密度封装作为解决方案,要求封装材料具有高频低损耗、低介电常数和良好的机械性能.CaO-B2O3-SiO2系可析晶玻璃材料能够满足这些要求,并引起了人们极大的关注与研究.综述了近年来针对CaO-B2O3-SiO2系可析晶玻璃材料的技术难点、制备工艺、掺杂剂和热分析方法等多方面研究进展.提出了该体系材料需要进一步解决的问题.
关键词:
CaO-B2O3-SiO2微晶玻璃
,
硅灰石
,
LTCC
,
热分析
