赵冬月
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刘保亭
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郭哲
,
李曼
,
陈剑辉
,
代鹏超
,
韦梦祎
人工晶体学报
应用磁控溅射法在 Pt/Ti/SiO2/Si(001)衬底上制备 5 mm 厚超薄非晶 Ti-Al 薄膜作为过渡层,利用脉冲激光沉积法制备 Ba0.6 Sr0.4TiO3 薄膜,构造了 Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt(Pt/BST/Pt)和 Pt/Ti-Al/Ba0.6Sr0.4TiO3/...
关键词:
BST 薄膜
,
非晶 Ti-Al 薄膜
,
过渡层
,
脉冲激光沉积
郭哲
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刘保亭
,
王军
,
李曼
,
张金平
,
娄建忠
人工晶体学报
采用射频磁控溅射法结合高真空后退火处理,在MgO(001)单晶基片上制备了Pt薄膜.应用脉冲激光沉积法在Pt/MgO上进一步生长了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、铁电测试仪、LCR表研究了BST/Pt/MgO的结构和性能.研究发现,700 ℃真空退火可以保证P...
关键词:
BST薄膜
,
脉冲激光沉积
,
导电机制
