陈江恩
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刘保亭
,
孙杰
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郭延岭
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马蕾
,
娄建忠
,
彭英才
人工晶体学报
采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm) (LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结.X射线衍射结果表明:LSCO和PZT薄膜均为外延...
关键词:
铁电电容器
,
PZT
,
外延薄膜
,
导电机制
马蕾
,
郭延岭
,
张志刚
,
江子荣
,
娄建忠
,
彭英才
人工晶体学报
利用高频感应加热化学气相沉积工艺,以H2稀释的SiH4作为反应气体源,在未抛光的粗糙石英衬底上直接沉积制备了具有均匀分布的大晶粒多晶Si膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射和可见-紫外分光光度计等检测手段,测量和分析了沉积膜层的表面形貌、晶粒尺寸、择优取向与光反射等特性.结果表明,多晶Si膜中Si晶粒...
关键词:
高频感应加热化学气相沉积
,
石英衬底
,
多晶Si膜
,
结构特性
马蕾
,
郭延岭
,
娄建忠
,
彭英才
人工晶体学报
以Au膜作为催化剂和大晶粒多晶Si薄膜为衬底,利用固-液-固生长机制,制备出直径在30～ 100 nm和长度为几百微米的高密度Si纳米线.实验研究了退火温度、生长时间和N2流量对Si纳米线生长的影响.结果表明,随着退火温度的升高,生长时间的延长和N2流量的增加,Si纳米线的长度和密度都显著增加.对不...
关键词:
多晶Si薄膜
,
Si纳米线
,
退火温度
,
生长时间
,
光致发光
