靳瑞敏
,
郭新峰
,
陈兰莉
,
罗鹏辉
,
郑小燕
材料导报
回顾了太阳能级多晶硅标准这一问题的由来,分析了制定太阳能级多晶硅标准中的有关杂质含量的争论,对太阳能级多晶硅标准提出了一些看法和思考:应加快以物理法多晶硅为原料制作太阳能电池技术问题的研究;解决太阳能电池的衰减、生产工艺改进及物理法多晶硅性能的稳定性问题;多晶硅标准最终应该是一个不区分生产方法的、以主要杂质含量为指标的标准.
关键词:
太阳能级多晶硅
,
标准
,
杂质含量
靳瑞敏
,
王玉仓
,
陈兰莉
,
罗鹏辉
,
郭新峰
,
卢景霄
材料导报
通过PECVD法于不同温度直接沉积非晶硅(a-Si:H)薄膜,选择于850℃分别退火2h、3h、6h、8h.于700℃分别退火5h、7h、10h、13h,于900℃分别退火1h、3h、8h,分别于720℃、790℃、840℃、900℃、940℃退火1h,然后用拉曼光谱和SEM进行对比分析,发现退火温度与退火时间的影响是相互关联的,并且出现一系列晶化效果好的极值点.
关键词:
PECVD法
,
非晶硅薄膜
,
多晶硅薄膜
,
二次晶化
,
拉曼光谱
,
扫描电镜
靳瑞敏
,
陈兰莉
,
罗鹏辉
,
郭新峰
,
卢景霄
材料导报
用玻璃作衬底在不同温度下用PECVD法直接沉积非晶硅(a-Si∶H)薄膜,在400℃和500℃分别光退火5min、10min、20min、30min、40min、60min、120min,用拉曼光谱分析前后样品,发现随着晶化时间的延长晶化效果越好,500℃退火的薄膜比400℃的晶化效果好.
关键词:
PECVD法
,
非晶硅薄膜
,
光退火晶化
,
拉曼光谱
靳瑞敏
,
罗鹏辉
,
陈兰莉
,
郭新峰
,
卢景霄
人工晶体学报
用PECVD法直接沉积的非晶硅(a-Si:H)薄膜在中温情况下光退火,然后用XRD、Raman光谱和SEM分析,发现晶粒大小随退火温度和退火时间呈现量子态现象.平均晶粒大小为30nm左右.
关键词:
PECVD法
,
非晶硅薄膜
,
光退火
,
量子态
,
晶粒大小
