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混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备的MgB2超导厚膜样品的成分分析

贾璋 , 郭蕙璞 , 吕莹 , 王新峰 , 陈晋平 , 徐军 , 王晓楠 , 朱萌 , 冯庆荣

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.01.008

本文介绍了基于混合物理化学气相沉积法(HPCVD),以B2H6为硼源,在(000l)取向的Al2O3单晶衬底上,制备了MgB2超导体厚膜样品.该样品平均厚度约为40μm.其Tc(onset)=39K,Tc(0)=37.2K.X光衍射图显示该膜沿(101)方向生长,具有少量Mg和MgO杂相.SEM图像...

关键词: MgB2超导膜 , SEM图 , EDX , X射线能谱

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