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金刚石芯 LED 中衬底及外延材料的研究进展

张玮 , 谭劲 , 鄢维 , 雷婷 , 孟小康 , 孙夏微 , 李聪明

材料导报

金刚石作为自然界中热导性最好的材料,在半导体行业的应用越来越广泛.随着LED行业的不断发展,金刚石芯LED也崭露头角.综述了自20世纪50年代以来,金刚石材料作为衬底和外延材料在半导体光电子领域的研究进展.主要从两个方面展开论述:金刚石作为衬底外延GaN的研究进展;以及金刚石本身作为外延材料制备成p-n结、p-i-n结、异质结等半导体器件的研究进展.这些研究充分体现了金刚石材料应用在LED产品中的可行性和优越性,以及应用在大功率LED芯片中的巨大潜力.

关键词: 金刚石 , 发光二极管 , 衬底 , 外延材料

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