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检索条件：作者=金义栋
冉春华 , 金义栋 , 祝闻 , 聂朝胤
材料导报
产生薄膜应力是在沉积薄膜过程中普遍存在的现象.薄膜应力的存在将影响薄膜的微观结构和性能,如薄膜的光学、力学等物理性能.同时影响到薄膜与基体材料的结合度以及基体材料的基本性能.主要总结了薄膜应力的产生机理、测试方法及其对薄膜结构和性能的影响,同时对薄膜应力的有效控制提出了展望.
关键词: 薄膜应力 , 薄膜结构 , 薄膜性能
祝闻 , 冉春华 , 金义栋 , 聂朝胤 , 王振林
表面技术
采用非平衡磁控溅射技术,通过改变Ti靶溅射电流,在不锈钢衬底表面沉积了不同掺Ti量的类金刚石薄膜(Ti-DLC),研究了掺Ti量对薄膜的显微硬度、弹性模量、膜/基结合强度、断裂韧性及摩擦磨损行为的影响.结果表明:DLC薄膜掺杂Ti后,硬度明显提高,且随着Ti靶溅射电流的增大,薄膜硬度先增加、后降低,...
关键词: 非平衡磁控溅射 , 掺Ti类金刚石薄膜 , 结合强度 , 摩擦磨损性能
